第十五届中国电子信息技术年会 | 微纳加工技术专题论坛日程发布

中国电子信息技术年会（下称电子年会），是由乐鱼APP官网登录入口主办的我国电子信息领域科技交流和推进产业发展的重要会议，主要围绕国家战略和科技前沿主题开展学术交流和技术研讨。

第十五届电子年会由乐鱼APP官网登录入口副理事长张军院士担任大会主席，以“智慧+”为主题，于4月17-18日在重庆市两江新区举行，包括主论坛和21个专题论坛。

微纳加工技术专题论坛，由罗先刚院士担任论坛主席，定于4月18日下午举办。

一、专题论坛背景

微纳加工技术是先进制造的重要组成部分，是集成电路芯片、光电子元件、微纳流控器件及微机电系统等制造的基础，是衡量国家高端制造业水平的重要标志，其在推动科技进步、促进产业发展等方面发挥着关键作用。

微纳加工技术专题论坛将邀请国内外从事新型微纳加工技术方法、装备研发和应用研究的科研院所与高校的知名专家对包括光学光刻、激光加工、纳米压印、自组装技术等在内的微纳加工技术的最近进展进行研讨，梳理相关领域的新型原理方法及存在的技术难点，探讨未来微纳加工技术的发展方向，推动高校、科研院所、企业在产学研方面的深度合作，加速微纳加工技术的发展和应用。

二、专题论坛议程与嘉宾信息

论坛主席：罗先刚

罗先刚，中国工程院院士，现任中科院光电技术研究所所长，微细加工光学技术国家重点实验室主任，中国光学工程学会副理事长、中国光学学会光学制造专委会主任。

论坛议程：

时间：2021年4月18日 下午

地点：重庆悦来国际会议中心

13：30-13：40 开幕致辞，论坛主席  罗先刚

中国工程院院士、中国科学院光电技术研究所所长、微细加工光学技术国家重点实验室主任

13：40-14：10  Optical beam nanolithography for functional optoelectronic materials

 顾敏，中国工程院外籍院士、澳大利亚科学院与工程院两院院士、上海理工大学教授

Abstract： Direct laser writing is an important method for modifying materials from 3D model data. The utilization of an ultrashort laser beam is one of the effective ways to achieve this process. In the case of laser patterning and writing, the fundamental restriction is the limit of the feature size, which is determined by the so-called Abbe’s law discovered by a German physicist, Ernst Abbe, in 1873. Abbe’s barrier means that the size of the features generated by a laser beam is approximately 300 nm, for example, in a visible beam. In this presentation, I will show how Abbe’s limit can be broken in the recent development of optical beam nanolithography. Therefore, the feature size by a laser beam focused by a high numerical lens can be remarkably reduced to 9 nm in a polymerisable material. This breakthrough in laser writing, when it is combined with nanomaterials, will not only provide a disruptive technology for generating an optical disk with a capacity up to Petabytes, which will allow for the accelerating development of green optical data centres, but also facilitate a new horizon of ultrahigh energy density super-capacitors, nanoscale organic optoelectronic devices, nanoscale chemical reaction chips, artificial neural networks, and biomimetic systems.

Biography: Professor Gu is Executive Chancellor and Distinguished Professor of University of Shanghai for Science and Technology. He was Distinguished Professor and Associate Deputy Vice-Chancellor at RMIT University, a Laureate Fellow of the Australian Research Council and University Distinguished Professor and Pro Vice-Chancellor of Swinburne University of Technology, all at Australia. He is an author of four standard reference books and has over 500 publications in nano/biophotonics. He is an elected Fellow of the Australian Academy of Science and the Australian Academy of Technological Sciences and Engineering as well as Foreign Fellow of the Chinese Academy of Engineering. He is also an elected fellow of AIP, OSA, SPIE, InstP, and IEEE. He was President of the International Society of Optics within Life Sciences, Vice President of the Board of the International Commission for Optics (ICO) (Chair of the ICO Prize Committee) and a Director of the Board of the Optical Society of America (Chair of the International Council). He was awarded the Einstein Professorship, the W. H. (Beattie) Steel Medal, the Ian Wark Medal, the Boas Medal and the Victoria Prize for Science and Innovation. Professor Gu is a winner of the 2019 Dennis Gabor Award of SPIE.

14：10-14：40  柔性电子加工技术综述 

崔铮，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员

报告摘要：所有柔性电子器件或系统大体基于三类材料：无机半导体材料、无机纳米材料与有机电子材料，所涉及的加工技术可分为基于集成电路芯片微纳米加工的减材技术与印刷增材技术。芯片加工形成的电子元器件或系统一般要通过剥离或转印来实现柔性化，而印刷可以直接在柔性基材上制作电子元器件或系统，直接实现柔性电子或柔性可拉伸电子系统。报告分析了这些加工技术的优缺点，以及基于印刷互联的柔性混合电子新概念，并介绍了报告人团队在过去10年中在印刷柔性电子领域的科研与产业化成果。

报告人简介：崔铮博士毕业于东南大学，在英国剑桥大学与英国卢瑟福国家实验室工作20年，主要从事集成电路芯片与MEMS微纳米加工技术研究。2009年全职回国加入中科院苏州纳米所，创建了国内首个印刷电子研究中心。主要从事电子墨水合成、印刷电子工艺与装备开发，以及印刷电子应用研究，包括印刷柔性光伏、印刷薄膜晶体管、印刷发光与显示、印刷柔性可拉伸可穿戴电子等。已发表论文280余篇，出版微纳米加工技术中英文专著7部，出版印刷电子技术中英文专著4部，申请并已获授权专利70余件 。主导研发的混合印刷金属网栅柔性透明导电膜技术已实现大规模产业化并成功应用于触摸屏产品，该项技术的核心专利获2014年中国专利金奖。

14：40-15：10  超快激光超衍射纳米光刻技术

段宣明，暨南大学光子技术研究院教授

报告摘要：光刻技术与装备不仅是我国受制于人的“卡脖子”问题，也是纳米器件、量子器件与芯片等后摩尔时代器件与芯片领域开展前沿科学研究不可或缺的工具。利用超快激光非线性光学效应，不仅可以采用可见、近红外波长激光，突破光学衍射极限，实现纳米尺度光刻，也可通过时空场调制的复合光源，实现多尺度、跨尺度图形高效光刻报告将结合本团队十多年来的研究工作，介绍多光子超衍射纳米光刻原理、复合光源跨尺度光刻方法、相关仪器研发现状，并对超快激光无掩模超衍射纳米光刻技术的发展前景进行展望。

报告人简介：暨南大学光子技术研究院教授。先后作为973项目首席科学家及重点研发计划项目负责人承担十多项国家、中科院及地方重点重大项目。担任国家重点研发计划重点专项总体专家组专家、973及863和国家重点研发计划项目评审及验收专家、基金委学科组和国家奖评审专家。长期从事激光纳米加工技术研究，针对突破光学衍射极限这一重大科学问题，开展了涉及物理、光学、材料、化学等多学科交叉领域的前沿基础研究，包括光功能材料、金属材料、生物相容性材料等功能材料及其微纳结构与器件的飞秒激光微纳加工的研究工作。

15：10-15：40  绿色印刷技术制备光电器件

宋延林，中国科学院化学研究所研究员

报告摘要：印刷技术为人类文明的传承做出了重要贡献，近年来也面临环境保护、电子出版等多方面的压力与挑战。基于纳米材料制备及功能墨滴图案化的基础研究，突破了印刷技术基本单元“点、线、面、体”精细控制系列难题；通过纳米材料构建浸润性差异的表面，实现绿色环保的印刷制版方式，并发展系统的绿色印刷产业链技术。进一步，利用绿色印刷技术替代传统高污染刻蚀工艺，发展了一系列新型印刷电子器件。通过纳米粒子的规模制备与图案化组装，发展了一系列性能优异的光子晶体器件，推动了印刷技术向“绿色化、功能化、立体化、器件化”发展。

报告人简介：中国科学院化学研究所研究员，绿色印刷重点实验室主任；中国材料研究学会、中国感光学会、中国印刷技术协会常务理事，中国真空学会、中国微米纳米技术学会理事； J. Mater. Chem. C,《化学学报》，《中国印刷》等期刊编委。主要从事光电功能材料、纳米材料与绿色印刷技术研究。已发表论文400余篇，被引用19,000余次，多次被Nature, Science等作为研究亮点报道。出版中英文专著12部；获中国发明专利100余项，美国、日本、欧盟、韩国等专利26项。获 2008年和2005 年国家自然科学二等奖，2016年北京市科学技术一等奖。先后获中国青年科技奖、中国化学会-阿克苏诺贝尔化学奖、中科院杰出青年、中国科协求是杰出青年成果转化奖、毕昇印刷技术奖和中华印制大奖等。入选长江学者、杰青、万人计划、国家百千万人才工程及全国优秀科技工作者等。

15：40-16：10  结构场协同调控微纳制造技术

刘红忠，西安交通大学教授

报告摘要：结构场协同调控微纳制造技术，起源于纳米压印复形方法，微纳结构复形能力从深亚微米提升到数十纳米的工业化制造。面对智能传感器对纳米级特征、多材料体系的三维微纳结构需求，外能场协同调控材料梯度化分布，实现微纳三维结构的近零压印力约束复制，在智能感知、微纳传感器、广义芯片制造等领域具有创新性。突破了传统光刻技术的半波长效应，推进了材料-结构-功能一体化微纳器件制造技术的发展。

报告人简介：西安交通大学教授，国家杰出青年基金获得者,国家高端制造装备协同创新中心副主任。专注于微纳制造与智能感知技术研究，获得教育部技术发明一等奖、陕西省科技进步一等奖。

16：10-16：40  超快激光超精细特种制造  

孙洪波，清华大学教授

报告摘要：超快激光一般是指半峰全宽小于10皮秒（ps）的脉冲激光。在这个时间尺度下，光与物质相互作用呈现与连续波激光（CW）或长脉冲激光作用不同的性质，因而在超快光谱、传感探测、微纳加工等领域展示了前所未有的应用前景。面向如上挑战，报告人长期以来开展了系统的研究，本报告将特别聚焦飞秒激光作为一种超精细特种制造技术的新原理研究、新工艺探索、新器件制备，以及这一技术在工业、国防以及基础研究前沿领域的新应用。

报告人简介：清华大学精密仪器系教授，长江学者特聘教授，国家杰出青年基金获得者，中组部万人计划学者，全国百篇优秀博士论文指导教师, 电气电子工程师学会（IEEE）Fellow，美国光学学会（OSA） Fellow, 光学工程学会（SPIE） Fellow，中国光学学会（COS） Fellow。研究方向为超快激光超精细特种制造基础与应用，是国际上该领域的早起开拓者和当前最活跃的研究者之一，为国防与工业紧迫需求提出系列关键解决方案。围绕如上研究内容，发表SCI论文400余篇，被SCI论文引用21000余次，H因子72；研究结果被Nature、Science和Laser Focus World 等杂志专题介绍100余篇次，150余次国际会议邀请报告。目前任Light Science &Applications (Nature Publishing Group)杂志执行主编，任中国光学学会微纳光学专业委员会主任、 第七届国务院学位委员会学科评议组成员、自然科学基金重大项目负责人。

16：40-17：10  铌酸锂光子芯片  

程亚，华东师范大学教授，中国科学院上海光学精密机械研究所研究员

报告摘要：铌酸锂具有很宽的透明窗口以及很高的非线性与电光系数，为实现光子集成器件提供了理想的材料平台。然而铌酸锂衬底具有较为稳定的物理与化学特性，因此无法通过传统半导体光刻技术进行刻蚀。我们发展了飞秒激光辅助化学机械抛光法解决了这一难题。我们报告一系列铌酸锂光子芯片器件并演示其非线性光学与光通讯等功能。

报告人简介：1993年复旦大学获得学士学位，1998年上海光机所获得博士学位，现为华东师范大学教授、上海光机所研究员。获得国家杰出青年科学基金资助、先后担任国家973计划项目、重点研发计划项目首席科学家。在飞秒激光与物质相互作用及利用飞秒激光进行微纳光子器件制备与集成等领域取得一系列原创性成果，开创性地利用飞秒激光微处理技术在光敏玻璃内部实现各种微光学，微流体及微电子学元件的集成。出版中文专著1本，撰著与编著英文专著共5本。

三、参会报名

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